EXT75DX

EXT556H

入口法兰

DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K

DN160ISO-K/DN160CF

抽速（l/s）

  N2

61

540

  He

57

580

  H2

53 

500

压缩比

  N2

>1 × 1011

>1 × 1010

  He

1 x 106

1 x 108

  H2

5 x 104

5 x 106

极限压力 (mbar)

<10-10

带有 RV 前级泵 ISO/CF

<5 x 10-9 / 5 x 10-10

带有隔膜前级泵 ISO/CF

<5 x 10-8 / 5 x 10-9

推荐前级泵*

RV5/nXDS5i

RV12/nXDS10i

水冷却（15 °C 水，40 °C 环境温度）

2 × 10-2 mbar

2 x 10-3 mbar

强制空气冷却，35°C 环境温度

1 × 10-2 mbar

5 x 10-4 mbar

标称旋转速度

90000 rpm

50000 rpm

到 90% 速度的启动时间

110 s ‡

6.5min

冷却方法#

强制空气/水

强制空气/水

强制空气冷却的环境空气温度

5 - 35 °C

0 °C - 35 °C

最小冷却水流速（15 °C 的水）

15 l h-1

15 l h-1

水温范围

10 - 20 °C

10 - 20 °C

最高入口法兰温度

100 °C

80 °C

操作姿态

垂直且竖直，直到

垂直且竖直，

水平

直到水平

1 米处的噪音级别

<50 dB(A)

<60 dB(A)

推荐控制器

TIC100 分子泵和仪器控制器

EXC300

静止电功率

10 W

35 W