nEXT240D

nEXTt300D

nEXT400D

入口法兰

DN100ISO-K，DN100CF

DN100ISO-K，DN100CF

DN160ISO-K，DN160CF

出口法兰

DN25NW

DN25NW

DN25NW

抽速

  N2

240 ls-1

300 ls-1

400 ls-1

  He

230 ls-1

340 ls-1

390 ls-1

  H2

165 ls-1

280 ls-1

325 ls-1

压缩比

  N2

>1 × 1011

>1 × 1011

>1 × 1011

  He

3 x 105

1 x 106

1 x 108

  H2

1 x 104

5 x 104

5 x 105

针对 RV 前级泵 ISO/CF 的极限压力

<6 x 10-8/<5 x 10-10mbar

<6 x 10-8/<5 x 10-10mbar

<1 x 10-8/<1 x 10-10mbar

推荐前级泵*

RV12/nXDS10i

RV12/nXDS10i

RV12/nXDS10i

排气口

1/8 英寸 BSP 母头

1/8 英寸 BSP 母头

1/8 英寸 BSP 母头

吹扫口

1/8 英寸 BSP 母头

1/8 英寸 BSP 母头

1/8 英寸 BSP 母头

最大连续入口流量（氮气）†

水冷却（15°C 的水，40°C 的环境温度）

45 sccm

95 sccm

105 sccm

强制空气冷却，35°C 环境温度

30 sccm

115 sccm

90 sccm

泵旋转速度

标称旋转速度

60000 rpm

60000 rpm

60000 rpm

待机旋转速度

可在 33000 至 60000 rpm 之间变化（默认为 42000 rpm）

可在 33000 至 60000 rpm 之间变化（默认为 42000 rpm）

可在 33000 至 60000 rpm 之间变化（默认为 42000 rpm）

可编程功率限制设置

可在 50 至 200W 之间变化（默认为 160W）

可在 50 至 200W 之间变化（默认为 160W）

可在 50 至 200W 之间变化（默认为 160W）

到 90% 速度的启动时间

115s‡

145s‡

180s‡

模拟输出

泵旋转速度；
功耗；泵温度；控制器温度

泵旋转速度；
功耗；泵温度；控制器温度

泵旋转速度；
功耗；泵温度；控制器温度

冷却方法#

强制空气/水

强制空气/水

强制空气/水

强制空气冷却的环境空气温度

5 - 35°C

5 - 35°C

5 - 35°C

最小冷却水流速（15°C 的水）

15 l h-1

15 l h-1

15 l h-1

水温范围

10 - 20°C

10 - 20°C

10 - 20°C

最高入口法兰温度

75°C

80°C

70°C

操作姿态

垂直且竖直，直到
水平 +/- 2°

垂直且竖直，直到
水平 +/- 2°

垂直且竖直，直到
水平 +/- 2°

1 米处的噪音级别

<45 dB(A)

<45 dB(A)

<45 dB(A)

泵可以承受的最大磁场

5 mT

5 mT

5 mT

推荐控制器

TIC200 分子泵和仪器控制器

TIC200 分子泵和仪器控制器

TIC200 分子泵和仪器控制器

静止电功率

通常为 20W

通常为 20W

通常为 20 W