STPA803C

STPA1303C

STPA1603C

STPA2203C

入口法兰

ISO160F

ISO200F

ISO200F

ISO250F

出口

KF40

KF40

KF40

KF40

吹扫口

KF10

KF10

KF16

KF10

水冷却接头

PT1/4

PT1/4

PT1/4

PT1/4

抽速

  N2

800 ls-1

1300 ls-1

1600 ls-1

2200 ls-1

  H2

520 ls-1

800 ls-1

1200 ls-1

1700 ls-1

压缩比

  N2

>108

>108

>108

>108

  H2

103

103

>7 x 103

>2.5 x 104

加热时的极限压力

10-7 Pa (10-9 Torr)

10-7 Pa (10-9 Torr)

10-7 Pa

10-6 Pa (10-8 Torr)

最大连续出口压力

270 Pa (2 Torr)

270 Pa (2 Torr)

266 Pa (2 Torr)

400 Pa (3 Torr)

最大氮气吞吐量

1500 sccm

1500 sccm

2500 sccm

1500 sccm

额定速度

32500 rpm

32500 rpm

36500 rpm

27000 rpm

启动时间

7 分钟

7 分钟

7 分钟

7 分钟

输入电压

200 至 240 (± 10) V 交流

200 至 240 (± 10) V 交流

200 至 240 (± 10) V 交流

200 至 240 (± 10) V 交流

功耗

0.85 kVA

0.85 kVA

0.85 kVA

1.5 kVA

泵重量

39 kg

39 kg

35 kg

61 kg

控制器重量

9 kg

9 kg

9 kg

12 kg