STP-XA2703C

STP-XA3203C

STP-XA4503C

入口法兰

VG250

ISO320F

VF300、ISO320F、VG350

抽速

  N2

2650 ls-1

3200 ls-1

4000 ls-1

  H2

2050 ls-1

2300 ls-1

2500 ls-1

压缩比

  N2

>108

>108

>108

  H2

>6 x 103

>6 x 103

6 x 103

极限压力

10-7 Pa

10-7 Pa

10-7 Pa / 10-9 mbar

最大允许前级压力

266 Pa

266 Pa

266 Pa / 2.66 mbar

最大允许气体流量

N2（水冷却）

2300 sccm (3.8 Pam3s-1)

2300 sccm (3.8 Pam3s-1)

2800 sccm/4.73 Pam3s-1

Ar（水冷却）

1900 sccm (3.2 Pam3s-1)

1900 sccm (3.2 Pam3s-1)

2150 sccm/3.63 Pam3s-1

额定速度

27500 rpm

27500 rpm

24000 rpm

启动时间

8 min

8 min

12 分钟

固定位置

任何方向

任何方向

任何方向

水冷却流量

3 lmin-1

3 lmin-1

3 ls-1

水冷却温度

5-25 °C (41-77 °F)

5-25 °C (41-77 °F)

5 – 25 °C / 41 – 77 °F

压力

0.3 MPa

0.3 MPa

0.3 MPa

推荐的吹扫气体流量

50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)

50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)

50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1

输入电压

200 至 240 V 交流 (± 10)

200 至 240 (± 10) V 交流

200 – 240 ±10 % V 交流

功耗

1.5 kVA

1.5 kVA

1.5 KVA

泵重量

75 kg (165 lb)

80 kg (176 lb)

控制器重量

12 kg (26.4 lb)

12 kg (26.4 lb)